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무벨로즈 진공밸브/샤프트타입 진공밸브/앵글밸브 (특허품)

모델명

TLSV40(NW40)

제품상태

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제조사/원산지	TL TECH
상품코드	G0000013843
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상호명	티엘테크
판매자이름	윤어용
전화번호	031-613-8353
휴대폰번호	010-4030-7164
주소	184-27 경기 화성시 여울로 2길 21-24번지 1층 경기 화성시 여울로 2길 21-24번지 1층

Bellows Type Valve 문제점.

진공밸브의 내구성이 약해서 진공밸브를 빈번하게 교체해야 하는 경우에는 진공밸브 자체의 교체 비용도 소요되지만 무엇보다. 공정을 중단해야 하기 때문에 그만큼의 생산 loss가 발생 하며,

반도체 제조 설비에 적용되어 왔던 진공밸브의 경우, Bellows 를 포함하는 Bellows Type이

대부분이어서 Bellows 주름관 부식 및 Particle의 역류 현상이 발생되는 문제점이 있다.

또한 Bellows 주름관 Moving 동작이 반복적으로 진행됨에 따라 Bellows 주름관이 찢어져 Leak 발생의 원인을 이룰 수 있으며, 특히 Bellows 주름관의 구조적인 한계로 인해 주기적인 외주 수리및 자체 세정시 많은
loss를 발생시키는 문제점이 있다.

자체 세정시 Bellows 주름관 틈새 세정이 완벽히 안되어 문제점 발생.

Bellows Type Valve 개선점.

문제점을 야기해 왔던 Bellows 주름관을 적용하지 않고도 효율적으로 동작될 수 있는 효과가 있다.

또한 Bellows 주름관이 적용되지 않고 Shaft Unit으로만 Moving 동작이 진행되기 때문에

종전처럼 Particle의 역류 현상이 발생되는 것을 효과적으로 해소할 수 있는 효과가 있다.

뿐만 아니라 본 발명에 따르면, Shaft Unit 적용되기 때문에 Leak 발생이 없고,

내구성이 향상되어 수명이 연장되며, 세정 및 소모성 Part만을 교체하면 되기 때문에 자체 수리가 간편하여 유지보수비를 절감시킬 수 있는 효과가 있다

또한 Bellows가 없으므로 Bellows 비용 절감되어 원가절감의 효과가 있다.